扫描透射电镜的原理与扫描透镜类似，只不过它采集的是透过试样的电子。它的优点之一是样品后面不再需要成像透镜，同时可以将透过样品的电子分离为弹性、非弹性散射电子，分别进行信息处理。它的缺点与扫描电镜类似：高精度测量要求超高真空，样品还需要金属镀膜等处理，而且样品不能太厚阻挡电子穿透，测量后的样品因辐射受损。光学共焦显微镜共焦显微镜的原理如图所示，如果测量点正好位于物镜焦点上，从光电接收器可以得到最大信号，如果测量点偏离焦点，信号相应变小。垂直方向的分辨率取决于物镜的焦距与光缆小孔的直径，一般可以达到纳米级，水平方向的分辨率依赖测量波长和系统数值孔径，通常小于。

　　严格地讲，偏振干涉仪实际上是外差干涉的一种。构成干涉装置的元件主要包括偏振分光镜、四分之一波片等。这种干涉仪的突出优点是共光路和倍光程，共光路降低了环境影响，而倍光程则提高了系统的测量分辨率。当引入外差式光源后，该干涉仪可以实现纳米测量，同时它还有适于大批量制造的特点。今后一段时间对它的深入研究将主要面对提高精度和推向实用化的问题。

　　调频激光干涉仪在激光器一端采用光源频率调整技术，同时在信号端利用电路细分等方法，可以获得纳米级别的测量结果。一种利用电流调制半导体激光器的调频激光干涉仪经过干涉仪和信号处理后7可实现2内的亚纳米级精度的测量。德国8公司生产的小型干涉仪4系列使用氦氖激光器，参考臂上采用压电陶瓷调制产生正弦波信号，后续电路采用电路细分，在理论上分辨率达到调频激光干涉法将光学和信号电路处理方法相结合，符合当前的动态高速、高精度测量的发展趋势，因此是一种很有潜力的纳米测量方法。扫描探针显微镜扫描探针显微镜：的最早成员扫描隧道显微镜依据电子隧道效应，采用反馈控制原理探测样品表面形貌，基本结构如。

　　扫描探针显微镜DE原理要求被测试件必须具有一定的导电性，这在很大程度上限制了它的使用范围。尔后发明的原子力显微镜D.E利用原子间相互作用力原理，既可用于导体，也可用于非导体样品。在扫描过程中，样品表面高度变化造成的微悬臂梁的偏斜通过聚焦在悬臂上的激光或监控，从而得到试样的表面纳米量级的形貌信息。随着和。的出现，相继产生了一系列利用探针与样品间的不同作用原理来探测物质表面相关性质的其它探针型显微镜，统称为扫描探针显微镜D4E.